微機械,也被稱為微電機械系統(MEMS),是研究工程結構和系統的一個較小的層次,通常以毫米到微米為單位,測量單位為百萬分之一米。力學和工程原理隨著物體變小而改變,要求在分析和開發微型器件時考慮到尺度。材料的微觀力學是在...
微機械,也被稱為微電機械系統(MEMS),是研究工程結構和系統的一個較小的層次,通常以毫米到微米為單位,測量單位為百萬分之一米。力學和工程原理隨著物體變小而改變,要求在分析和開發微型器件時考慮到尺度。材料的微觀力學是在復合材料的單個成分水平上分析復合材料,以預測這些材料在各種條件下的反應。

硅表面微加工使用硅片作為一種圖案表面。醫療領域、鐘表行業和汽車行業通常使用微機械。幾乎所有使用工程產品和系統的領域都受益于微機械。例如,對微觀力學的研究可以幫助工程師確定哪些材料在汽車上使用最安全,哪些材料在碰撞時最能抵抗外力的破壞。微觀力學的基礎是,隨著物體變小,與體積有關的力變得不那么重要。重量和慣性在微觀世界中變得不那么重要,這為在宏觀世界中很難或不可能實現的小物體和系統提供了新的工程機會。同樣,與表面積有關的力,如摩擦力和表面張力,隨著物體變小,變得非常重要。微型機械零件比通常尺寸的零件使用更少的功率,通常更便宜,重量也更小。這些類型的機器可以使用特殊技術以高精度制造。例如,工程師可以使用電火花加工(EDM)來用導電材料制造渦輪等零件另一個在微機械方面越來越感興趣的領域是使用硅來制造非常小的機器,這些機器已經組裝好并且功能齊全。硅表面微加工使用硅晶圓作為圖案表面。一旦圖案被層層蝕刻到晶圓上,多余的硅被移除,留下一個功能性的微組件。體微機械加工通過移除硅片的部分來完成類似的任務,留下一個已經組裝好的微型機械。LIGA是德語單詞"光刻"的縮寫。LIGA技術使用X射線光刻技術將圖像應用到聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)上。然后將PMMA浸入蝕刻介質中去除不需要的材料,不均勻材料的微觀力學認為復合材料或由兩種或兩種以上不同材料組成的材料,必須區別對待均質材料。均質化用于根據兩種材料各自的質量預測兩種材料在復合形式下對各種條件的反應。這有助于微型工程師預測復合材料的微小變化會如何改變材料。。