原子層沉積是一種化學過程,用于制造微處理器、光學薄膜和其他用于傳感器、醫療設備的合成和有機薄膜,以及先進的電子技術,它將一層厚度只有幾個原子的材料精確地沉積到基底上。沉積原子層有多種方法和方法,這已成為電子工...
原子層沉積是一種化學過程,用于制造微處理器、光學薄膜和其他用于傳感器、醫療設備的合成和有機薄膜,以及先進的電子技術,它將一層厚度只有幾個原子的材料精確地沉積到基底上。沉積原子層有多種方法和方法,這已成為電子工程、能源、納米技術研究和材料科學研究的一個基本特征,這一過程通常包括原子層外延或分子層外延,當金屬或半導體硅化合物形式的一層非常薄的晶體物質附著在較厚的類似材料層的表面上時。
![]()
工人薄膜沉積是產品研究和生產的一個領域,由于精細為生產有用的設備和材料而必須進行的控制層。它通常涉及物理、化學和從機械到化學工程的各種工程的研究和開發。化學研究決定了化學過程是如何在原子和分子水平上發生的以及自限性是什么這些因素是為了晶體和金屬氧化物的生長,因此原子層沉積能夠始終如一地產生具有均勻特性的層。用于原子層沉積的化學反應室可產生1.1埃的沉積速率,或每個反應周期0.11納米的材料,通過控制各種化學反應物的量和反應室的溫度,在這些過程中常用的化學物質包括二氧化硅,二氧化硅,氧化鎂,氧化鎂和氮化鉭,鉭一種類似的薄膜沉積技術被用來生長有機薄膜,這通常是從有機分子的碎片開始的,例如各種聚合物。混合材料也可以用有機和無機化學物質制成,用于支架等產品中,這些支架可以放置在人體血管中,并涂有抗心臟病的緩釋藥物加拿大納米技術研究所(Institute of Nanotechnology)已經在2011年用傳統的不銹鋼支架制造了一層類似的薄膜層來支撐塌陷的動脈。不銹鋼支架上覆蓋著一層薄薄的玻璃硅,它被用作一種基底,將大約60個原子層的糖類物質結合在一起厚度。碳水化合物以積極的方式與免疫系統相互作用,防止人體對動脈內的鋼支架產生排斥反應。原子層沉積中使用了數百種化合物,它們有多種用途。其中一種是截至2011年研究最廣泛的化合物之一是集成電路工業中高k電介質材料的發展。隨著晶體管越來越小,小于10納米尺寸,一種稱為量子隧穿(quantum tunneling)的過程,電荷通過絕緣層泄漏,使得傳統上用二氧化硅制作晶體管變得不切實際。高k電介質在原子層沉積測試中作為替代物的材料薄膜包括二氧化鋯、氧化鋅、二氧化鉿、氟化氫和氧化鋁,因為這些材料表現出更好的抗隧道效應。