微電子學完成了廣泛的功能,其中一個重要的測量是振動。振動傳感器測量的是所謂的振蕩運動,一種連續來回的運動。方向可以用坐標系表示,與重力有關的力可以振動分析是通過測量位移、速度和加速度來完成的,主要由振動監測傳...
微電子學完成了廣泛的功能,其中一個重要的測量是振動。振動傳感器測量的是所謂的振蕩運動,一種連續來回的運動。方向可以用坐標系表示,與重力有關的力可以振動分析是通過測量位移、速度和加速度來完成的,主要由振動監測傳感器來分析,包括壓電式、積分式、壓電式、壓阻式、可變電容式等,以及伺服傳感器。

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振動傳感器通常被稱為加速度計。壓電加速度計根據作用在他們身上的力的能量工作,因此系統不需要額外的電源。傳感器兩側的電子電荷位移用于產生測量值。這種傳感器的常見類型包括剪切設計,用于處理較大的溫差,梁式設計通常是首選,因為它通常以低成本提供。
集成電子壓電傳感器包括自己的小型放大器,所以不需要像壓電產品那樣的特殊電纜,輸入輸出信號通過與傳感器相連的一根電纜,整個設計免受電噪聲的影響,該裝置還可以集成電子濾波器、電氣過載保護,以及各種輔助功能。
壓阻式傳感器采用單臂或多臂設計,以產生更復雜的輸出它由外部電源供電,允許輸出信號用于監測穩定的振動條件,而不是改變方向或力。在高加速度條件下,可變電容振動傳感器通常集成硅片和間隙,以保持耐久性。它們可以承受加速達到其規定工作范圍的1000倍。
不像其他傳感器依賴于開環配置、伺服或力平衡中晶體或其他元件的位移,加速度計采用閉環設計。伺服驅動的振動傳感器具有更高的精度,可用于慣性制導系統。用于振動分析的其他常見傳感器形式包括接近傳感器。這些傳感器通常位于機械內部,通過測量內部組件的電性來監測內部組件的運動導電性。雖然這些傳感器是非接觸式的,但其他振動傳感器依靠接觸來精確測量運動或距離。