在制造微芯片的過程中使用潔凈室。潔凈室最早開始使用60年代。1961年,來自桑迪亞實驗室的威利斯·惠特菲爾德與同事們合作,設計了一種新穎的通風概念——"單向"或"層流"空氣供應——空氣以一種方式傾瀉,并通過房間另一側的排氣口被吸出。因為氣流是層流的,與河流中心一樣,它可以去除相當大比例的空氣顆粒,否則這些顆粒會被傳統通風計劃中的渦流和漩渦所捕獲。這一進步使得相對于先前的標準,空氣中的空氣污染物含量非常低通過一組高效微粒過濾器泵入房間。由于氣流必須保持完全單向,因此只有一面墻或天花板作為連續的清潔空氣源,相反的墻壁或地板用作排氣格柵,以排除多余空氣并保持氣流流動。
一些實驗室實驗需要潔凈室條件任何單向流潔凈室的清潔度都與通過房間的空氣流速成正比。由于單向流潔凈室的風量比傳統通風室的風量大很多倍(10-100),因此建造這種房間的資金和運營成本都要高出許多倍但是自從20世紀60年代以來,已經有成千上萬的這樣的房間被建造,達到了不同的清潔度,而且隨著我們經濟中越來越大的一部分依賴于精細的、對污染敏感的產品的制造,潔凈室的使用只會繼續增加。
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