掃描電鏡顯微鏡是一種利用電子束與探測器結合來觀察很小區域的顯微鏡。這種設備通常被稱為掃描電鏡,因為字母是顯微鏡正確名稱的縮寫——掃描電子顯微鏡。這種顯微鏡功能非常強大,它的平均有用分辨率在7 nm到3 nm之間,盡...
掃描電鏡顯微鏡是一種利用電子束與探測器結合來觀察很小區域的顯微鏡。這種設備通常被稱為掃描電鏡,因為字母是顯微鏡正確名稱的縮寫——掃描電子顯微鏡。這種顯微鏡功能非常強大,它的平均有用分辨率在7 nm到3 nm之間,盡管已經達到了較低的分辨率。
![]()
當一束電子束指向樣本時,女性用掃描電子顯微鏡來解釋探測器的數據。電子束由掃描電鏡電子槍內的燈絲產生,然后沿著色譜柱向試樣移動。在色譜柱中,電子的路徑被各個部分移動、凝聚、阻塞和/或改變,以改善成像效果。色譜柱打開進入樣品室,在那里電子束撞擊樣品。樣品釋放或反射的電子然后撞擊樣本室中的探測器。撞擊的結果被用來產生高度放大的樣本圖像。在掃描電鏡中,樣本釋放的電子可以通過多種不同的方式被探測到;然而,最常見的三種是通過后向散射,二次散射,以及x射線成像。背散射電子(BSE)傾向于深入到樣本表面,通過檢測產生的圖像可以更容易地顯示物質內部物質的對比度。次級電子用于產生樣本表面的圖像,X射線探測器可以分辨出樣本的特定部分,通常用于法醫學。其他檢測方法也存在,包括陰極發光和俄歇檢測。掃描電鏡中的"S"代表掃描,這是掃描電鏡區別于其他類型的一個方面電子顯微鏡掃描電子顯微鏡沒有使用固定的電子束,而是使用在所需區域上移動的電子束,即所謂的光柵圖案(rastering)。光柵化有許多好處,這也是二次探測器產生的圖像幾乎具有三維質量的原因之一。SEM用于許多不同的研究領域,但可能最著名的是它們在法醫學中所起的作用。檢測槍彈殘留物的一種方法是擦拭嫌疑人的拇指、蹼和扳機指的背部;然后使用反向散射檢測分析拭子,用x射線檢測法檢測感興趣的區域,以確定它們是由什么組成的。背散射檢測也可以用來檢查物體的表面成分,而異常區域可以用x射線檢測來檢測,以找到不需要的材料,如鉛。