電子顯微鏡可用于觀察超顯微物體。觀察超顯微物體最常用的手段是1931年發明的電子顯微鏡。其他幾種包括觀察小于波長的物體的超顯微鏡用顯微鏡觀察黑體的隧道衍射,它利用量子效應來成像單個原子。
可以用超顯微鏡觀察到霧粒子。一些超顯微長度和物體包括:氫原子-0.05納米,硫原子-0.1納米,碳納米管直徑-1納米,DNA螺旋直徑-2納米。典型DNA鏈中的10個堿基對-3.4 nm。典型細胞膜厚度-6-10 nm。最小病毒-20 nm。極端紫外光波長-40 nm。當前微芯片的最小特征尺寸-65 nm。典型煙霧顆粒大小-100 nm。已知最大病毒,可見光譜(紫)開始-380 nm。已知最大病毒的衣殼直徑, 擬態病毒-400nm。已知最小細菌的直徑,流感嗜血桿菌-500nm。超顯微范圍的非正式上限為1000nm。當電子顯微鏡在1940年代開始商業化使用時,它的第一個應用之一就是病毒的特性和描述,在那之前都被認為是相對神秘的許多開創性的研究都是在德國、加拿大和美國進行的。研究發現,病毒和大多數其他超顯微物體并不會隨環境而改變,超顯微鏡的其他用途包括觀察霧粒子、追蹤云室中的離子,以及研究布朗運動,這是愛因斯坦在物理學生涯開始時首先提出的課題之一最小的病毒被認為是超顯微病毒。
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