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MEMS是指MEMS的微型機械，通常是指步進式機械的微型機械，但這些系統都是純電子的，除了一系列的電脈沖外，無法處理或輸出任何東西。然而，現代MEMS制造技術在很大程度上是基于制造集成電路的相同技術，即，采用光刻技術的薄膜沉積技術。一位女士拿著一本書，在很大程度上被認為是一種使能技術，而不是目的，工程師和技術專家認為MEMS的制造是我們合成更廣泛的物理結構的能力的又一個值得歡迎的進步有用的任務。與MEMS一起最常被提及的是"芯片實驗室"的概念，這是一種處理化學物質微小樣本并返回有用結果的設備。這在醫療診斷領域可能是非常革命性的，因為實驗室分析會導致醫療保險費用增加、診斷延遲和不便文書工作。MEMS有兩種制造方法：一種是通過表面微機械加工，即在一個表面沉積連續的材料層，然后蝕刻成形；另一種是通過體微機械加工，在這種情況下，對基板本身進行蝕刻以生產最終產品。表面微機械加工是最常見的，因為它建立在集成電路的基礎上。MEMS獨有的沉積技術有時會留下"犧牲層"，即在制造過程結束時被溶解和沖走的材料層，留下一個剩余的建筑這一過程使MEMS裝置具有三維復雜的結構。各種微型齒輪、泵、傳感器、管道和執行器已經制造出來，其中一些已經集成到日常的商業產品中。現代MEMS的應用實例包括噴墨打印機、汽車加速計、壓力傳感器，高精度光學、微流控、單個神經元的監控、控制系統和顯微鏡。目前還沒有一個生產性的微型機器系統能像生產性的大規模裝配線那樣，但是，這種裝置的發明似乎只是時間問題。用MEMS制造的前景是令人興奮的，因為這種系統的陣列在相切方向上工作，其生產效率可能比占據相同體積和消耗相同能量的宏尺度系統高。然而，一個突出的限制是，將是由微型機器系統制造的大尺寸產品將需要主要由預制的微型構件組成。

發表于 2020-09-18 02:10
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分類：科學教育

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