什么是光刻(Photo Etching)？

光刻是在集成電路中產生線條或色調的一種工藝。印版可能會被蝕刻，也可能不會被蝕刻，但由于蝕刻深度的均勻性，色調的變化總是很小。蝕刻是一種既可以是濕的，也可以是干的。濕蝕刻是將材料溶解在化學溶液中，而干法蝕刻在離子...

光刻是在集成電路中產生線條或色調的一種工藝。印版可能會被蝕刻，也可能不會被蝕刻，但由于蝕刻深度的均勻性，色調的變化總是很小。蝕刻是一種既可以是濕的，也可以是干的。濕蝕刻是將材料溶解在化學溶液中，而干法蝕刻在離子或蒸汽的幫助下溶解一種物質。科學家用燒杯進行光刻，包括化學蝕刻、化學研磨、光化學加工、化學加工和金屬蝕刻。它將光刻和基本蝕刻相結合。光刻是一種利用光刻膠覆蓋的基底或酶作用的分子形成圖案的過程。當光刻膠暴露在紫外光下并通過光掩模觀察時，就會形成光刻膠。然后對基底進行蝕刻，光刻膠變成了一道屏障，只允許蝕刻材料的選定部分。光刻被稱為半色調過程，因為灰色可以通過轉換成半色調或以不同的長度蝕刻幾次以產生不同的板深而形成。詳細的金屬零件可以這種工藝的一個優點是，它使產品很難再制造出來。此外，該工藝使產品及其設計更加靈活，允許使用更多種類的材料，消除了產品上的應力問題，它節省了在硬工具上的資金，縮短了生產周期。光刻需要精密的工具，因為它涉及到一種非常復雜、精細的切割和雕刻金屬的方法。這種工藝的結果是一種非常薄的金屬，通常深度只有0.002到0.2英寸（.05到5毫米）可以使用多種材料，包括鋁、黃銅、青銅、銀、鎳、銅、鋼和鐵。不同的公司專門生產不同類型的零件。有些公司可以對厚度較輕的金屬零件進行光刻，從而可以制造非常精密的零件。其他公司則將該工藝與下料相結合，這是一種用于形成零件的工藝通用工具。這種方法允許創建更復雜的設計和圖案。還有一些公司使用各種工具來支撐較厚的金屬，這些工具可以用來在金屬表面產生凹槽。

發表于 2020-09-18 00:28
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分類：科學教育

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