什么是微執行器(Microactuator)？

執行器通常使用一種能源來移動或控制機械部件。它們經常出現在電動機和各種機器中。多年來，許多機械裝置已經小型化，但這一過程通常要求單個部件也要小得多。21世紀的微型化已經發展到微執行器和其他部件都非常小，以至于...

執行器通常使用一種能源來移動或控制機械部件。它們經常出現在電動機和各種機器中。多年來，許多機械裝置已經小型化，但這一過程通常要求單個部件也要小得多。21世紀的微型化已經發展到微執行器和其他部件都非常小，以至于經常需要使用強大的顯微鏡才能看到它們。工業過程中，如光刻和微加工被用來制造微型執行器，也可以制造出各種各樣的類型。帶燒杯的科學家靜電微執行器是一種常見的類型，但是科學家也可以制造出能夠產生更大功率的電磁驅動器，從而為像電機這樣的設備供電。它們有時很難制造，但是它們是用集成電路的典型制造方法制造的。已經制造出直徑約為0.04英寸（1毫米）的馬達，研究人員經常用它將微小的導管插入生物細胞中。還有一種壓電微致動器，其復合材料的反應類似于晶體，當被推動時，產生一個電壓。薄膜可以沉積在硅上，可以在很短的距離內產生運動。它們有時被用于微型微型轉子。超聲波微執行器通常用于壓電設備內置的小型電機中。這些可以集成到自聚焦機構中例如小型照相機。移動的機械部件可以在小規模上建造，但靜電微致動器通常是由一種基于電荷彎曲的材料制成的。運動通常是微觀的，產生的力很小一些旋轉電機和直線運動梳齒驅動器就是基于這一原理而發展起來的。微執行器可以用來制造顯示器和投影儀的微型反射鏡。微型電流繼電器和控制硬盤驅動器的小型機構經常使用這種微型器件。它們通常被稱為微型機電系統（MEMS）一個包括多種微型運動部件的類別。微執行器的生產可以通過將零件蝕刻到硅樹脂中來完成。光刻通常用于制造電路、光、化學物質，在這一過程中，典型的是將要添加的零件組成一層，成品通常是分層生產的，而微加工通常需要激光和掃描電子顯微鏡等，放置單個的原子和細胞。這兩種方法都可以用來移動微執行器部件和制造微型裝置。

發表于 2020-09-18 02:07
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分類：科學教育

什么是微執行器(Microactuator)？

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