原子探針最初由德國物理學家埃爾文·威廉·穆勒(Erwin Wilhelm Muller)于1967年設計。原子探針顯微鏡的一個重要方面是它使用飛行時間光譜技術。這種技術測量了它所需的時間范圍通過某種介質的原子或其他物體。它也可用于各種能量事件,如電磁波。其目的是確定路徑的速度或長度,并確定粒子或其他現象的流速。基本上,電場是用來加速介質中的離子的,它可以測量動能并用來計算速度。場離子顯微術也被用作原子探針的一種分析技術。它可以識別物體尖銳金屬尖端表面的原子圖像和組成。半徑必須小于50納米,并放置在真空室中極低的壓力。當低溫溫度建立時,像氦或氖這樣的成像氣體被引入。在電場啟動后,離子帶正電荷并放大尖端的成分。這種技術的最先進形式之一是原子探針層析成像在這一過程中,使用位置敏感探測器產生三維圖像,這項技術的改進,利用激光脈沖,可以觀察金屬以外的其他材料的成分。某些半導體材料,如硅或其他絕緣材料,可以用原子探針的方法進行分析技術。原子探測器最初是由德國物理學家埃爾文·威廉·穆勒在1967年設計的。另外一些科學家,如J.A.Panitz和S.Brooks McLane在當時擴展了這個概念。但是,直到2005年激光脈沖原子探針的商業化,這項技術才在材料科學領域得到高度普及。
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