什么是納米光刻(Nanolithography)？
納米光刻是一個術語，用來描述制造難以置信的小結構的許多技術。所涉及的尺寸大約是幾十納米（nm）。納米是十億分之一米，比一根頭發的寬度小得多。之所以使用"光刻"一詞，是因為圖案生成的方法基本上與書寫相同，只是規模要小得...
納米光刻是一個術語，用來描述制造難以置信的小結構的許多技術。所涉及的尺寸大約是幾十納米（nm）。納米是十億分之一米，比一根頭發的寬度小得多。之所以使用"光刻"一詞，是因為圖案生成的方法基本上與書寫相同，只是規模要小得多。
納米光刻可用于制造微芯片。納米光刻是一種常見的方法，特別用于微芯片，被稱為光刻技術。這種技術是一種并行的納米光刻技術，在這種技術中，整個表面在一瞬間就被畫上。光刻技術在尺寸上受到限制，但是，如果使用的光的波長太小，透鏡就會完全吸收光。這意味著光刻技術不能達到某些替代技術的超精細尺寸。一種比光刻技術更小尺寸的技術是電子束光刻技術。利用電子束逐納米地繪制圖案，可以實現難以置信的小尺寸（約20nm）。然而，電子束光刻比光刻更昂貴、更耗時，這使得它很難在納米光刻的工業應用中銷售。由于電子束光刻的功能更像一個點陣打印機而不是一張閃光照片，這項工作使用光刻技術需要5分鐘，而電子束光刻則需要5個多小時。新的納米光刻技術正在不斷地研究和發展，導致可能的尺寸越來越小。例如，極端紫外線光刻技術可以使用波長為13.5納米的光雖然這一新領域仍存在障礙，但它有望實現遠低于當前行業標準的尺寸。其他納米光刻技術包括蘸筆納米光刻技術，其中一個小尖端用于在表面沉積分子。蘸筆納米光刻可以實現非常小的尺寸，但目前無法實現納米光刻技術研究的資金來自許多地方，包括私人學術界、著眼于下一代納米技術的未來派公司，而老牌電腦晶片制造商則希望將晶片縮小至遠低于目前的尺寸。隨著工業界對奈米科技的興趣與日俱增，資助與研究無疑會在奈米光刻技術領域擴大，導致更熟練的技術，甚至更低的尺寸限制。
納米光刻可用于制造微芯片。納米光刻是一種常見的方法，特別用于微芯片，被稱為光刻技術。這種技術是一種并行的納米光刻技術，在這種技術中，整個表面在一瞬間就被畫上。光刻技術在尺寸上受到限制，但是，如果使用的光的波長太小，透鏡就會完全吸收光。這意味著光刻技術不能達到某些替代技術的超精細尺寸。一種比光刻技術更小尺寸的技術是電子束光刻技術。利用電子束逐納米地繪制圖案，可以實現難以置信的小尺寸（約20nm）。然而，電子束光刻比光刻更昂貴、更耗時，這使得它很難在納米光刻的工業應用中銷售。由于電子束光刻的功能更像一個點陣打印機而不是一張閃光照片，這項工作使用光刻技術需要5分鐘，而電子束光刻則需要5個多小時。新的納米光刻技術正在不斷地研究和發展，導致可能的尺寸越來越小。例如，極端紫外線光刻技術可以使用波長為13.5納米的光雖然這一新領域仍存在障礙，但它有望實現遠低于當前行業標準的尺寸。其他納米光刻技術包括蘸筆納米光刻技術，其中一個小尖端用于在表面沉積分子。蘸筆納米光刻可以實現非常小的尺寸，但目前無法實現納米光刻技術研究的資金來自許多地方，包括私人學術界、著眼于下一代納米技術的未來派公司，而老牌電腦晶片制造商則希望將晶片縮小至遠低于目前的尺寸。隨著工業界對奈米科技的興趣與日俱增，資助與研究無疑會在奈米光刻技術領域擴大，導致更熟練的技術，甚至更低的尺寸限制。
- 發表于 2020-09-07 10:53
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- 分類：科學教育
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